磁控濺射技術(shù)

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能，zui大到6"旋轉(zhuǎn)平臺，zui大可支持到2個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-1000帶有10"派熱克鐘罩腔體，2個2"的磁控管，DC直流電源用于濺射金屬，并帶有膜厚監(jiān)測儀(選配)。由于NSC-1000的空間有限，我們不能在NSC-1000系統(tǒng)上提供更多的電源和磁控管。我們可以提供我們的NSC-1000系統(tǒng)，用于SEM應(yīng)用，也可以用于濺射金屬到zui大6"的晶圓片。

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點：

• 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
• 70l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵
• 1KW DC直流電源
• 晶振夾具具有的<1 Å的厚度分辨率
• 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
• 基于LabView軟件的PC計算機(jī)控制
• 帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制
• *的安全聯(lián)鎖功能

選配項：

• Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測

應(yīng)用：

• SEM應(yīng)用
• 濺射金屬，zui大到6"的晶圓片