IPA干燥多功能一體清洗系統(tǒng)

簡要描述：液相擴(kuò)散技術(shù)（LDT）提供了各種基材和表面材料的干燥性能性能增強。這種專有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層，在靜止的基板移動擴(kuò)散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有強大的工藝靈活性，可用于干燥高縱橫比/深溝槽地形、半間距晶片間距，以及其他多種應(yīng)用。

產(chǎn)品型號： Megasonic IPA dryer

所屬分類：批量型兆聲清洗系統(tǒng)

更新時間：2024-06-17

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

液相擴(kuò)散技術(shù)（LDT）提供了各種基材和表面材料的干燥性能性能增強。這種專有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層，在靜止的基板移動擴(kuò)散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有強大的工藝靈活性，可用于干燥高縱橫比/深溝槽地形、半間距晶片間距，以及其他多種應(yīng)用。

兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了它的不足。兆聲波清洗的機理是由高頻振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對硅片進(jìn)行清洗的。在清洗時，由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，大瞬時速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強制除去并進(jìn)入到清洗液中。

Megasonic IPA Dryer

Step 1