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液相擴(kuò)散技術(shù)（LDT）提供了各種 基材和表面材料的干燥性能性能增強(qiáng)。這種專有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層，在靜止的基板移動(dòng)擴(kuò)散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有強(qiáng)大的工藝靈活性，可用于干燥高縱橫比/深溝槽地形、半間距晶片間距，以及其他多種應(yīng)用。

SWC-3000兆聲晶圓清洗機(jī) 兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及*進(jìn)的兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。

兆聲晶圓清洗機(jī)： First-Nano 兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及*進(jìn)的兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。