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紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：美國NXQ以的性能，經(jīng)濟(jì)的價(jià)格，深受用戶喜愛，截至2016年底，超過5000臺(tái)NXQ曝光系統(tǒng)遍布*科研實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)中心。

產(chǎn)品型號(hào)： NXQ4000

所屬分類：紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光系統(tǒng)

更新時(shí)間：2019-01-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

 

美國NXQ以的性能，經(jīng)濟(jì)的價(jià)格，深受用戶喜愛，截至2016年底，超過5000臺(tái)NXQ曝光系統(tǒng)遍布*科研實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)中心。

 

NXQ4000系列半自動(dòng)掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光系統(tǒng)，融合了獨(dú)立的模塊化設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)控制對(duì)準(zhǔn)和曝光等特點(diǎn)，自動(dòng)程序控制使得該系統(tǒng)易于操作存儲(chǔ)和使用，適合實(shí)驗(yàn)室多用戶使用。

該系統(tǒng)特點(diǎn)：

  • 鍥型誤差補(bǔ)償系統(tǒng)----*的WEC設(shè)計(jì)

  • 紫外燈源的多樣性選擇

  • 曝光光路的精準(zhǔn)控制

  • 視像分辨技術(shù)------在Video View Microscope 和Quadcam Microscope中快速切換

  • 高效對(duì)準(zhǔn)控制-----可選配IR或OBS雙面對(duì)準(zhǔn)

 

使用領(lǐng)域（包括但不限于下述領(lǐng)域的光刻工藝）



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