勻膠旋涂儀工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關??梢栽O定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程,每個程序段都能設定51步速度改變,當前參數(shù)具斷電保護功能。
勻膠旋涂儀具有速度精度高、轉速穩(wěn)定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
勻膠旋涂儀產(chǎn)品特點介紹:
★可更換陽極氧化鋁加熱轉盤,標準尺寸Φ10,Φ25,Φ50三種規(guī)格可選;
★HDPE高分子內(nèi)腔,熱幅射式蓋子,鈑金烤漆外殼,結構緊湊,美觀大方;
★200W發(fā)熱部件,加熱速度快,表面熱均勻性高,PID高精度控溫系統(tǒng);
★采用間接式傳動方式,可靠的隔熱設計,避免加熱部件對電機性能影響;
★7寸全彩觸屏操作,自帶觸屏筆,圖形化人機界面,簡單易用;
★帶一路自動點膠端口,可升級自動點膠功能,進一步提高實驗重復性;
★自帶排廢功能,便于廢膠的收集處理;
★可嵌入式設計安裝,降低高度放置在手套箱內(nèi)操作。
勻膠旋涂儀應用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。
勻膠旋涂儀能夠?qū)D盤進行控溫,基片接觸式加熱,以實現(xiàn)在不同溫度下的控溫勻膠處理操作。設備采用觸屏式操作,鈑金烤漆外殼。采用發(fā)明的旋轉熱盤控溫結構系統(tǒng),控溫精度高、重復性好,技術先進,設備性能優(yōu)良。勻膠旋涂儀可以進行邊加熱邊旋轉的勻膠操作,對提高膠體流動性,加速溶劑揮發(fā),勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。