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橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測(cè)樣品反應(yīng)技術(shù)。不像反射儀，參數(shù)（PSI和Del）是在非正常的入射角得到。改變?nèi)肷浣??？梢缘玫礁嗟臄?shù)據(jù)集，這將有助于精煉模型，減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此，可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強(qiáng)大的功能 。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣牵謩?dòng)或自動(dòng)模式。