NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發(fā)系統(tǒng)

NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：

    提供NTE-4000和NTE-3000型號的PC計算機控制的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，可沉積有機物和金屬。設(shè)備具有小占地面積、干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過程、低價格, 高性能以及高能力的特點?？梢栽谠O(shè)定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。

產(chǎn)品特點：

• zui大可支持7"的方片或200mm的晶圓片
• 沉積速度可控
• 旋轉(zhuǎn)的樣品臺
• 雙坩堝或舟
• 2KVA SRC控制電源
• 晶振式膜厚監(jiān)測儀
• 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制

產(chǎn)品型號：

• NTE-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)
• NTE-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
• NTE-3000：基于PC計算機全自動控制的雙蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)
• NTE-1000：計算機控制的單蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)