光學(xué)元件原子級(jí)清洗鍍膜系統(tǒng)

NOC-4000離子束刻蝕濺射鍍膜一體機(jī)概述：NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù)，在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個(gè)過(guò)程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用，同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。

NOC-4000離子束刻蝕濺射鍍膜一體機(jī)應(yīng)用

• Optical Coatings 光學(xué)涂層
• Sputtering  濺射
• IBAD  IBAD離子束輔助沉積
• Ion Beam Etching Cleaning  離子束刻蝕清洗
• Ion Beam Assisted Reactive Etching 離子束輔助反應(yīng)刻蝕
• Infrared Coatings  紅外涂層
• Surface Treatment   表面處理

產(chǎn)品特點(diǎn):

• RF Biasable Platen  RF射頻偏壓樣品臺(tái)
• Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測(cè)儀
• 5x10-7 Torr Base Pressure  極限真空5x10-7Torr
• High Accuracy and Repeatability  高精度及高重復(fù)性
• High Quality Films  高品質(zhì)膜層
• Atomic Level Clean Surfaces   原子級(jí)的潔凈表面
• Atomic Cleaning and Polishing  原子級(jí)清洗和拋光
• PC Controlled with LabVIEW  通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
• Automatic Load/Unload  自動(dòng)上下載片
• Automatic Transfer Between Chambers  兩個(gè)腔體之間自動(dòng)傳送
• Recipe Driven, Password Protected 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問保護(hù)
• Safety Interlocks 完整的安全聯(lián)鎖
• 46”D x 44”W Footprint  占地面積46”D x 44”W

選配項(xiàng):

• Sputter Down/Up  向下/向上濺射
• Co-Sputtering 共濺射
• DC, RF and Pulsed Power Supplies  DC，RF以及脈沖電源
• Ion Beam Assisted Deposition 離子束輔助沉積
• E-Beam Sources 電子束源
• Plasma Sources 等離子源