等離子清洗機(jī)的關(guān)鍵是低溫等離子體的應(yīng)用，它主要依賴于高溫、高頻、高能等外界條件產(chǎn)生，是一種電中性、高能量、全部或部分離子化的氣態(tài)物質(zhì)。低溫等離子體的能量約為幾十電子伏特，其中所包含的離子、電子、自由基等活性粒子以及紫外線等輻射線很容易與固體表面的污染物分子發(fā)生反應(yīng)而使其脫離，進(jìn)而可起到清洗的作用。同時由于低溫等離子體的能量遠(yuǎn)低于高能射線，因此此技術(shù)只涉及材料表面，對材料基體性能不產(chǎn)生影響。