發(fā)布時(shí)間： 2020-08-06 點(diǎn)擊次數(shù)： 1404次
微波等離子去膠機(jī)采用高密度2.45GHZ微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔、去膠和等離子體預(yù)處理，微波等離子體清洗、去膠機(jī)具有高度活性、高效，且不會(huì)對(duì)電子裝置產(chǎn)生離子損害。它是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
微波等離子去膠機(jī)主要用于光刻膠的剝離或灰化，也可用于：
1. 有機(jī)及無機(jī)殘留物的去除
2.去除殘膠以及等離子刻蝕的應(yīng)用
3.清洗微電子元件、電路板上的鉆孔或銅線框架
4.提高黏附性，消除鍵合問題
5. 塑料的表面改性：O2處理以改進(jìn)涂覆性能
6. 產(chǎn)生親水或疏水表面等
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
n 去膠快速*
n 對(duì)樣片無損傷
n 操作簡單安全
n 設(shè)計(jì)緊湊美觀
n 產(chǎn)品性價(jià)比高
微波等離子去膠機(jī)操作規(guī)程：
1、自動(dòng)切割小車應(yīng)經(jīng)空車運(yùn)轉(zhuǎn)，并選定切割速度；
2、使用釷、鎢電極應(yīng)符合JGJ33-2001第12.7.8條規(guī)定；
3、高頻發(fā)生器應(yīng)設(shè)有屏蔽護(hù)罩，用高頻引弧后，應(yīng)立即切斷高頻電路；
4、應(yīng)檢查并確認(rèn)電源、氣源、水源無漏電、漏氣、漏水，接地或接零安全可靠；
5、操作人員應(yīng)站在上風(fēng)處操作?？蓮墓ぷ髋_(tái)下部抽風(fēng)，并宜縮小操作臺(tái)上的敞開面積；
6、小車、工件應(yīng)放在適當(dāng)位置，并應(yīng)使工件和切割電路正極接通，切割工作面下應(yīng)設(shè)有溶渣坑；
7、應(yīng)根據(jù)工件材質(zhì)、種類和厚度選定噴嘴孔徑，調(diào)整切割電源、氣體流量和電極的內(nèi)縮量；
8、當(dāng)空載電壓過高時(shí)，應(yīng)檢查電器接地、接零和割炬手把絕緣情況，應(yīng)將工作臺(tái)與地面絕緣，或在電氣控制系統(tǒng)安裝空載斷路斷電器；
9、操作人員必須戴好防護(hù)面罩、電焊手套、帽子和隔音耳罩。不戴防護(hù)鏡的人員嚴(yán)禁直接觀察等離子弧，裸露的皮膚嚴(yán)禁接近等離子弧。
微波等離子去膠機(jī)操作方法：
將待去膠片插入石英舟并平行氣流方向，推入真空室兩電極間，抽真空到 1.3Pa，通入適量氧氣，保持反應(yīng)室壓力在 1.3-13Pa，加高頻功率，在電極間產(chǎn)生淡紫色輝光放電，通過調(diào)節(jié)功率、流量等工藝參數(shù)，可得不同去膠速率，當(dāng)膠膜去凈時(shí)，輝光消失。
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