微波等離子去膠機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。微波等離子去膠機(jī)采用氟基氣體的去膠工藝，利用氟基氣體與SU-8膠的化學(xué)反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)快速去除SU-8功能。同時(shí)設(shè)備中還集成了溫控系統(tǒng)，去膠過(guò)程中對(duì)襯底溫度的控制保證了高深寬比金屬結(jié)構(gòu)的完整性，zui終實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量MEMS器件的制備。